DF500 NanCon Gasflussregler Digitaler Durchflussmesser Einstellbarer Bereichsregler für Universitätsversuche

Produktbeschreibung

DF500 NanCon Gasflussregler Digitaler Durchflussmesser Einstellbarer Bereichsregler S700 für Universitätsversuche
Produktbeschreibung
Die hochpräzisen Differenzdruck-Gasmassendurchflussmesser/-regler der DF500-Serie sind streng nach SEMI-Standards entwickelt und gefertigt und entsprechen den SEMI-Standards E17, E18 und E28.Das Produkt verwendet importiertes 316Lvv-Material und das EP-Verfahren, wobei die Rauheit der Innenfläche des Strömungskanals Ra0 erreicht.2. Klasse; zweiter JahrgangEs verwendet einen fortschrittlichen dynamischen Kompensationsalgorithmus für Druckschwankungen, um die Strömungsstabilität unter Bedingungen der Nutzung mehrerer Gaswege zu gewährleisten;Es nutzt piezoelektrische Keramik-Proportionalventiltechnologie, um eine Durchflussregelung im Bereich von ca. 100 ms und eine minimale Kontrolle von Durchflussschwankungen zu erreichen, mit besserer elektromagnetischer Interferenzbeständigkeit und ohne Leistungsverlust oder elektromagnetische thermische Effekte.
Die Produkte der DF500-Serie zeichnen sich durch hohe Präzision, hohe Stabilität und präzise Steuerungsfähigkeiten aus und eignen sich für fortschrittliche Halbleiterprozesstechnologien wie 7nm, 14nm und 28nm.Sie können eine präzise Gasflussregelung für Prozesse ermöglichen, die eine genaue Gasflussregulierung erfordern, wie z. B. chemische Dampfabscheide (CVD), Ionenimplantation und Ätzen.Die Produkte der DF500-Serie zeichnen sich durch hohe Präzision, hohe Stabilität und präzise Steuerungsfähigkeiten aus, wodurch sie für fortschrittliche Halbleiterprozesse wie 7nm, 14nm und 28nm geeignet sind.Sie können NanCon in den Domestizierungsprozess der Halbleiterindustrie einbringen.
Detaillierte Bilder
Spezifikationen
Hochpräziser Gas-Massendurchflussmesser-Regler, thermischer Gasflussensor
Grundparameter
ModellNein.
DF500-DeviceNet-Version DF500-D/A-Version
Mittlere Anfrage
Sauber und trocken, ohne korrosive Gase
Mittelgroß
Luft, Stickstoff, Sauerstoff, Kohlendioxid, Helium, Wasserstoff, Methan, Argon, usw.
Durchflussbereich
0 ~ 50/100/200/500 sccm
0 ~ 1/2/5slpm
Genauigkeit
±0,1 % des Skalenendwerts(≤10 % des Skalenendwerts);±1,0 % S.P.(>10 % des Skalenendwerts
Flow Radio

Produktdetails in Bildern

Produkteigenschaften

Markenname

Nancon

Hochbetriebenes Chemikalienunternehmen

Keine

Halbfertigprodukt

Nein

Ursprung

CN (Herkunft)

Heimwerkerbedarf

elektrisch

Modellnummer

DF500

Bohrungsgröße des Verbindungsrohrs

1/2"

Messbereich

0 ~ 10/20/50/100/200/500sccm 0 ~ 1/2/5/10/20slpm

Kopplungstyp

Innengewinde NPT

Product Name

DF500 NanCon Gas Flow Controller Digital Flow Meter Adjustable Range Controller for University Experiments

Accuracy

±0.1%F.S.(≤10%F.S);±1.0%S.P.(>10%F.S)

Flow Range

0 ~ 50/100/200/500sccm 0 ~ 1/2/5slpm

Power Supply

8 ~ 24V DC or 50mA Max

Power Consumption

��2.7W

Output Signal

RS485 Modbus

Max Pressure

9.8Mpa

Working Temperature

10℃ ~ +55℃

Connection

RJ45 with Indicator light

Medium

Air, nitrogen, oxygen, carbon dioxide, helium, hydrogen, methane, argon, etc.